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真空泵
真空泵是通過機械、物理、化學等多種方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件設備，真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。下面來具體了解一下真空泵的分類及特點。
1. 按性能特點和用途分類
(1) 低真空泵
泵的極限壓力高于l0²Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2) 中真空泵
極限壓力在10^2-10^(-1)Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。
(3) 高真空泵
極限壓力在10^(-1)-10^(-5)Pa的真空泵屬高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵及分子泵等。
(4) 超高真空泵
極限壓力低于10^(-5)Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。
2. 按工作原理和結構特點分類
(1)機械式容積真空泵
靠機械運動使泵腔工作容積周期變化來實現(xiàn)抽氣作用的是機械式容積真空泵。屬于這類泵的有往復式真空泵、旋轉式機械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類栗中除機械增壓泵外，一般均可單獨使用。
(2)射流式真空泵
沒有機械運動部件，主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。這類泵結構簡單，工作可靠，壽命長，易于維修，應用比較普遍。
3.各類真空泵的工作壓力范圍及特征。
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